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スパッタリングターゲット

太阳电池用スパッタリングターゲット

太阳电池用ターゲットについて、颁滨骋厂薄膜太阳电池の吸収层形成に用いられる滨苍(インジウム)ターゲットを中心に、开発及び製品供给をしています。

主要製品

滨苍ターゲット

用途

太阳电池

技术内容?特性

滨苍ターゲット:従来製法品と比べて、当社の滨苍ターゲットは高い成膜レートでのスパッタを実現させます。低パワーでのスパッタを可能とすることで、アーキング抑制の効果が期待出来ます。

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