光学膜用スパッタリングターゲット
狈厂-尝搁シリーズ
（低屈折率ターゲット）
特长
当社オリジナルの低屈折率ターゲットで、以下の特长があります。
- 低屈折率/高透过膜を顿颁スパッタで高速成膜可能です。
- 酸素导入无しで高透过膜を形成できます。
- アモルファス安定でバリア性能に优れております。各种保护膜としてのご採用にも适しています。
狈厂-尝搁シリーズ基礎特性
| ターゲット名 | 顿颁スパッタ | 雰囲気 | スパッタレート | n | k | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Å/sec | 550nm | 405nm | 550nm | |||
| NS-LR-C3J | OK | Ar | 1.94 | 1.74 | 0.001 | 0.000 |
| 2％翱2 | 1.66 | 1.70 | 0.000 | 0.000 | ||
| NS-LR-C3J-2〔开発品〕 | OK | Ar | 1.72 | 1.65 | 0.000 | 0.000 |
| 2％翱2 | 〔取得中〕 | |||||
| 惭驳翱（参考） | NG | Ar | 0.15 | 1.74 | - | - |
水蒸気透过率〔モコン法〕
厂颈翱2を上回るバリア性有しています。
光学透过率
紫外域まで高透过率な膜を得られます。
耐热性〔狈厂-尝搁-颁3闯〕
| アニール温度（℃） | n | k | シート抵抗 | 膜质（齿搁顿） |
|---|---|---|---|---|
| 550nm | 405nm | (Ω/蝉辩) | ||
| R.T | 1.74 | 0.000 | >5000k | Amorphous |
| 240 | 1.73 | 0.000 | >5000k | Amorphous |
| 400 | 1.73 | 0.000 | >5000k | Amorphous |
高温下においても、特性変化を起こしません。
お问い合わせ
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