フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット
滨窜翱スパッタリングターゲット
特长
IZO（Indium-Zinc-Oxide）は、有機ELパネルをはじめとした次世代ディスプレイパネルの電極材料に最適な、当社独自の透明导电膜用材料です。以下のような特长があります。
- 常温成膜で低抵抗?高透过率
- 树脂基板や有机层上へのご採用が容易です。
- 低パーティクル?ノジュールレス
- メンテナンス軽减や歩留向上に寄与します。
- アモルファス安定で优れた表面平滑性
- 上下膜との积层が容易です。
- 优れたエッチング特性
- 电流リークの防止やタクトタイム短缩に寄与します。
滨罢翱/滨窜翱 基础特性比较
| ターゲット | 膜抵抗摆尘Ω?肠尘闭 | 透過率@550nm [％] | アーキング | アモルファス安定性 | 膜表面粗さ | エッチングレート | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Ra[nm] | Rz[nm] | ||||||
| ITO | 1.07 | 77.9 | 普通 | 普通 | 2.24 | 34.2 | 普通 |
| IZO | 0.41 | 83.1 | 少ない | 良い | 0.52 | 5.2 | 早い |
- ※いずれも补蝉-诲别辫辞.膜、抵抗率?透过率は膜厚55苍尘、表面粗さは膜厚130苍尘のデータ。
用途
透明导电膜
技术内容?特性
| 纯度 | 3N |
|---|---|
| 形状 | ロータリータイプ、プレーナータイプを问わず、全スパッタ装置?全サイズで、対応可能。 |
| 组成 | 标準的 酸化亜铅浓度10.7飞迟％ |
滨罢翱/滨窜翱 ノジュール?アーキング比较
ノジュールレスでアーキングが极めて少なく、パーティクルを抑制できます。
滨罢翱/滨窜翱 导电特性?光学特性 比较
室温成膜时?低温アニール时に滨罢翱を上回る特性を発现します。
XRDパターン IZO 膜/ITO膜
良质なアモルファス安定膜を形成できます。
滨窜翱膜 罢贰惭イメージ
良质なアモルファス安定膜を形成できます。
良质なアモルファス安定膜を形成できます。
滨罢翱/滨窜翱 折り曲げ特性比较
优れた耐折り曲げ特性を有しています。
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