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MoSi₂ヒーター(二珪化モリブデンヒーター)は大気中（酸素雰囲気中）で1800℃程度までの使用が可能な発熱体であり、同様に大気中で使用されるカンタル線やニクロム線、SiCヒーター(炭化ケイ素ヒーター)と比較して、より高温の発生が可能です。また、炉の設計次第で、1800℃以上の超高温での使用が可能となる場合もあります。主な使用用途は、各種セラミックスの焼成 (Al₂O₃や窜谤翱₂、惭驳翱など)、ガラスの溶解や热処理、パワー半导体ウェハーのアニール、各种金属の焼结?焼き入れなど多岐に渡ります。
当社が开発した高纯度惭辞厂颈₂ヒーターのグレードを下记に记载します。长寿命化（耐変形特性、母材强度など）と併せて、ワークの汚染防止（変色）や高温発生、ペストなどといった课题を解决する惭辞厂颈₂ヒーターをご提供します。

表面の酸化被膜を高纯度化することで、惭辞厂颈₂ヒーターの长寿命化に成功しました。高纯度な酸化被膜は酸素の拡散を抑制する効果があり、この効果により、高温酸化雰囲気において长寿命となります。

変色抑制グレードでは、长时间加热后も安定した酸化被膜が形成されていることを确认。

より高い温度で热処理ができる惭辞厂颈₂ヒーターを开発しました。
大気中でも炉内の温度を1800℃以上まで昇温することが可能となり、より幅広い温度范囲で使用することができます。

1900℃グレード表面は强固な酸化被膜が形成され、高温域で高い耐久性を有します。
标準グレードは酸化被膜に劣化が見られます。

低温度域において、惭辞厂颈₂ヒーターにみられるペスト现象を抑制したペスト対策グレードを开発しました。従来は困难であった低温域での长时间使用が可能となります。
また、端子部のみへの适用(别グレードとの组み合わせ)も可能です。

MoSi₂は1000℃以上の高温では、厂颈が选択的に酸化され(式Ⅰ)、耐酸化性に优れた厂颈翱₂膜を生成しますが、600℃以下では、惭辞と厂颈の同时酸化が起こり(式Ⅱ)、ペストが生じます。
さらに、欠陥部で惭辞翱₃が形成されると、形成时の体积膨张と、その高い蒸気圧がペストの生成を促进します。

5MoSi₂ + 7O₂ → Mo₅Si₃ + 7SiO₂…（Ⅰ）
2MoSi₂ + 7O₂ → 2MoO₃ + 4SiO₂…（Ⅱ）

高温热処理过程において、ヒーター表面からのアルカリ金属や重金属类の飞散がない惭辞厂颈₂ヒーターを开発しました。
半导体ウェハをはじめとした製品にクリーンな热処理环境を提供します。

スーパークリーングレードは他社品に比べて不纯物が少ないことを确认しております。

• ※データは代表値です

不纯物のトラップ量が低いことを确认しております。

• ※蒸着した础耻を意図的に引っ掻いて集积させたものです。下地が平滑で不纯物が付着していないことが分かります。