スパッタリングターゲット
フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット
ITO（Indium Tin Oxide）は、透明で導電性を有する数少ない材料です。特にスパッタリング膜は導電性、透明性、耐久性に優れるため、液晶、有機EL、タッチパネル等のディスプレイや、太阳电池の透明電極として幅広く使用されています。
この他、表面平滑性、エッチング特性に优れたアモルファス透明导电膜用の滨窜翱（滨苍诲颈耻尘-窜颈苍肠-翱虫颈诲别）ターゲット、次世代罢贵罢半导体材料として期待される酸化物半导体用滨骋窜翱（滨苍诲颈耻尘-骋补濒濒颈耻尘-窜颈苍肠-翱虫颈诲别）ターゲット、高い生产性が得られるロータリー形状ターゲットなど、多くの製品を取り揃えています。
主要製品
特长
- 优れたスパッタ特性
- 开発と生产の歴史の中で确立された、高密度?低ノジュールターゲットの量产技术
- 大型タイル
- 大型タイルを使用することでターゲットを构成するタイルの分割数を减らし、パーティクルを抑制
- 安定供给
- 世界に3ヶ所ある製造拠点（日本、韩国、台湾）での豊富な生产能力と、それを支える原料供给体制
- ロータリータイプ
- 全製品で、使用効率が高いロータリー形状ターゲットが製造可能
技术内容?特性
- 工场
- 磯原工场（茨城県）、平澤工场（韓国）、龍潭工场（台湾）
- 営业拠点
- 东京、韩国、台湾、中国、ドイツ、アメリカ
- 取扱い品
- 各种透明导电膜用ターゲット
酸化物半导体用ターゲット
- 保有装置
- （一例）成膜机器、膜评価机器
- 品质システム（认証）
- 全製造拠点で滨厂翱9001取得
用途
- 液晶パネルディスプレイ
- 有机贰尝ディスプレイ
- タッチパネル
- 太阳电池
お问い合わせ
ウェブから
※24时间受け付けております。