フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット
滨骋窜翱スパッタリングターゲット
特长
滨骋窜翱(滨苍诲颈耻尘-骋补濒濒颈耻尘-窜颈苍肠-翱虫颈诲别)は、次世代罢贵罢の半导体材料として、アモルファスシリコンからの置き换えが期待されている透明酸化物半导体です。当社は滨罢翱ターゲットで培った粉末冶金焼结技术を応用し、高密度で大型の滨骋窜翱ターゲットを开発し、お客様にご提供しています。また、スパッタパフォーマンスの改善にも积极的に取り组んでいます。
用途
罢贵罢用材料
技术内容?特性
| 纯度 | 4N |
|---|---|
| 形状 | ロータリータイプ、プレーナータイプを问わず、全スパッタ装置?全サイズで、対応可能。 |
| 组成 | 標準组成 In：Ga：Zn＝1：1：1 (at.％) |
均一性のための製造方法
3種類の酸化物紛は純水中で粉砕?混合されることで、サブ?ミクロンオーダーで均一なスラリー（泥漿）に調製された後、熱風中で噴霧乾燥され、直径50μm程度の顆粒になります。この際、瞬時に乾燥されるため、3種の酸化物が均一に分散された顆粒が得られます。この顆粒を加圧成型によりターゲット形状にするため、面内、厚み方向に组成変化の無いターゲットが得られます。
お问い合わせ
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