スパッタリングターゲット
开発中础濒厂肠スパッタリングターゲット
移動通信端末には800～2500MHz帯で動作する高周波（RF: Radio Frepuency）フィルタが用いられています。
このRFフィルタには、圧電体基板の表面を伝搬する表面波SAW（Surface Acoustic Wave）を利用したSAWフィルタが広く使われています。
近年バルク弾性波BAW（Bulk Acoustic Wave）の商用化が進み、従来のSAWフィルタでは対応できない高難度Band（周波数帯）において、BAWの適用が広がっている状況であり、既存の材料に比べて更に特性の良いAlScターゲットを提供しています。従来からあるAlNに対し、AlScは1桁高い圧電定数を期待できます。
ＪＸ金属では既存の础濒厂肠ターゲットと比较し、圧电特性に影响する酸素の含有量を大幅に低减しています。
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